設備商致茂電子 (2360) 今日宣布，於今年 SEMICON Taiwan 將會實機展出 SuperSizer 溶液奈米粒子監測系統。致茂提到，自家在半導體測試領域擁有眾多產品線，從研發至量產階段所需之設備，包括 ATE 大型測試系統、IC 分選機以及 PXI/PXIe 小型化測試平台，也增加半導體前端製程的溶液監測與可符合趨勢應用的 AIoT 連接測試解決方案，而本次則於半導體展中，宣布展出鷹眼級 SuperSizer 溶液奈米粒子監測系統。半導體製程技術以極快的速度進步到 10 奈米、7 奈米線寬，在不久的將來更將到 5 奈米甚至於 3 奈米。影響製程良率甚鉅的奈米粒子監控技術現有技術只能勉強監控大於 20 奈米的粒子，遠遠不及產線需求。致茂集團旗下的兆晟奈米科技推出 SuperSizer 奈米粒子監測系統，提供客戶對製程液體裡小於 20 奈米的粒子大小及分布，並具有 24 小時即時監控的能力。此外，隨著智慧連網家庭市場的發展，要讓住家變得更聰明、更方便，關鍵在於人工智慧 (AI) 資料分析技術、大數據 (big data) 的統計、語音 (Audio) 辨識系統、以及提升家庭網路連線的技術與安全性。致茂近年積極發展專為智慧家庭生態系統所需的 SoC 晶片的測試設備，持續推出整合性更高的量測解決方案，以提供最低的測試成本且滿足複雜 SoC 的測試應用需求。