《韓聯社》日文電子版在 3 日的報導中指出,有南韓三星電子的相關人士透露,該公司已經在半導體的部分製程當中,採用南韓國產的氟化氫原料,來取代日本的進口品。計畫先從對於氟化氫純度等要求較低的製程開始展開,再逐漸的擴大使用範圍。
業界人士表示,在這回所使用的氟化氫當中,似乎有南韓企業所生產的產品包含在內。
日本自今年 7 月 4 日開始,對出口到南韓的氟化氫、光阻劑、氟化聚醯亞胺,這 3 種在半導體及面板等製造所需的關鍵化學品,實施了嚴格的出口管制措施。
三星電子在日本的管制措施一上路後,為了尋求日本製氟化氫的替代品,不斷的對南韓國內外的產品進行測試,然而業界認為替代品要用於製程上需花費 3~6 月的時間。
在另一方面,南韓半導體大廠的 SK 海力士正在進行替代品的測試,而面板大廠的 LG 顯示 (LG Display) 更已開始使用南韓國產的氟化氫原料。據悉,三星顯示 (Samsung Display) 也即將在近日內結束替代原料的測試過程。
日前《朝鮮日報》日文電子版在 8 月 30 日的報導中指出,南韓產業通商資源部在 8 月 29 日時表示,日本經濟產業省已對一件氟化氫的出口申請發出許可,而這批氟化氫則是出口到南韓三星電子。
氟化氫不僅是半導體在製作複雜積體電路的,蝕刻製程中所使用的關鍵原料,也被用於半導體的清洗製程。在半導體製造超過 500 道的製程中,約有 50 道製程需要使用氟化氫。
在純度高達 99.999% 以上的氟化氫方面,目前日本的森田化學工業及 Stella Chemifa(4109-JP) 等,在全球市占更超過 7 成以上。