晶圓代工製程競爭賽持續開打，三星看準台積電因華為禁令，而有部份產品出貨受阻，積極加速追趕速度，三星 (005930-KR) 日前宣布，5 月已開始建置 5 奈米晶圓廠，預計 2021 年下半年投產，追趕意味濃厚，而也因三星加速新製程建置腳步，台相關設備廠家登 (3680-TW)、帆宣 (6196-TW) ，可望直接受惠。
EUV 技術與一般製程相比，除了可增加電晶體密度外，更能節省時間，加速產品上市，台積電從 7+ 奈米就開始導入 EUV 製程，先進製程 6 、5 奈米全數都採用 EUV ，帶動 EUV 設備市場逐步擴大。
不過，由於 EUV 微影設備造價昂貴，全球僅台積電、三星、英特爾具備採購能力，並向獨家設備供應商 ASML 購買設備，ASML 就指出，今年第 1 季已接到 11 台價值 15 億歐元 (折合新台幣約 491.95 億元) 的 EUV 設備訂單。
台灣 EUV 周邊設備供應商則有家登與帆宣，近期因相關需求強勁，訂單能見度高；家登 EUV Pod(光罩盒) 已通過 ASML 認證，市占率逾 7 成，是台積電獨家供應商，去年受惠 EUV Pod 出貨暢旺，獲利較前年大增逾 10 倍，今年更積極擴建產能，預計完工後產能將提升四倍，滿足客戶需求。
而三星擴大先進製程，家登已切入三星供應鏈，成為英特格後的第二供應商，今年供貨比重將提升至 1 至 2 成，推升今年營運續創高。
帆宣則為 ASML 代工客製化設備，第 2 季產能利用率已達滿載，且毛利率優於廠務，有助獲利提升，帆宣第 1 季因廠務工程認列遞延，導致營收衰退，但在客製化業績支撐下，毛利率、獲利均創一年半來新高，法人預計，第 2 季獲利可望維持上季高檔。
隨著台積電、三星的 EUV 製程陸續投產，英特爾也在加速 EUV 進展，EUV 設備將成兵家必爭之地，相關設備供應廠商可望受惠成長。