AGC大舉投資數百億日圓 EUV光罩基板產能將提升2倍

鉅亨網編譯陳達誠
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根據《日本經濟新聞》週一 (27 日) 報導,日本的玻璃龍頭大廠 AGC(5201-JP) 宣布,要將「EUV 光罩基板」的產量提升約 2 倍。

AGC 指出,將向子公司的 AGC Electronics(日本福島縣郡山市) 投資數百億日圓,以擴建廠房並導入新的生產設備,預計 2020 年 10 月動工,2022 年開始投入生產,目標到了 2025 年,營收要突破 400 億日圓,市占也要達到 50%。

以合成石英玻璃為底的光罩基板,是製作半導體光罩的重要材料。日本在光罩基板的領域當中,主要廠商有信越化學 (4063-JP)、HOYA(7741-JP) 及 AGC。過去 2018 年的時候,在 28 奈米以下的光罩基板市場,信越化學則擁近 5 成的市占。

使用 EUV(極紫外線) 的光罩技術,可讓半導體的導線間距更小,因此被視為資料大容量化與高密度化的重要技術。還有在新一代通訊規格的 5G、IoT 物聯網,及 AI 人工智慧的應用範圍擴展下,相關半導體的需求跟著增加,而半導體、IC 導線間距的微細化更是不可或缺。以往的半導體光刻技術已經面臨瓶頸,EUV 光罩技術也因而受到矚目。

2020 年,AGC 的 EUV 光罩基板營收上看百億日圓。而在日本的 EUV 光罩基板領域方面,HOYA 則是擁有較高市占。AGC 的 EUV 光罩基板市占,估算約有 3 成左右,也打算藉由生產能力的提升來擴大市占。