晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 前研發副總經理、清大半導體研究學院院長林本堅今 (27) 日提到，英特爾 2002 年曾組 EUV LLC 聯盟，但台積電無法加入，轉而改採浸潤式微影技術，後來 EUV 量產也領先，反而超車當年成立聯盟的英特爾。
林本堅今日出席清大半導體研究學院揭牌儀式，會後受訪時，提起當年台積電導入浸潤式微影技術的往事。他表示，英特爾 2002 年時與超微、IBM 等企業，一起出資成立 EUV LLC 聯盟，希望共同研發極紫外光 (EUV) 相關設備，導入 60、40 奈米製程使用。
林本堅說，台積電最初也想加入，但最後一個位置被 IBM 搶走，台積電改採浸潤式微影技術，後來 5 奈米製程採 EUV 量產，也領先聯盟中的大廠。且除英特爾外，EUV LLC 聯盟其他成員廠商都沒有再繼續參與聯盟。
清大半導體研究學院與台積電、聯電、力積電及美光等 11 家企業合作，對於英特爾近來大舉進軍晶圓代工領域，也要在台徵求研發人才，林本堅也說，歡迎英特爾加入清大半導體研究學院合作行列。