半導體設備廠 ASML 周五（7 日）表示，德國柏林廠發生的火災對今年生產造成的影響有限，不會耽誤 DUV 光刻機的生產或收入，但仍在評估對其最先進的 EUV 光刻機造成的影響，災情資訊將於 19 日公布第四季財報時進一步更新。
ASML 的光刻機是晶片製造商所需的關鍵設備，尤其目前全球正處於晶片荒，一旦 ASML 出貨計畫延遲，恐將引起連鎖反應，加劇晶片短缺窘境。
該公司表示，除火災影響一部份的建築外，鄰近建築也受煙霧影響，目前正全力修復當中，火災範圍外的廠區並未受到影響，全面正常運作。
雖然火災影響 DUV 光刻機部分零件供應，但 ASML 表示會以不影響生產與收入的方式進行補救。
至於製造先進製程晶片的 EUV 光刻機部分零件供應也在火災中受到影響，ASML 表示正在討論該零件生產區的復原計畫，並討論如何將對 EUV 光刻機客戶的影響降到最低，無論是在產量或是現場服務方面。
ASML 表示，進一步的災情報告與可能對第四季財報造成的影響，將會於 1 月 19 日公布財報時說明。
有外媒指出，如果 ASML 的德國柏林工廠因火災而導致光刻機零組件出貨量減少 10%，可能會暫時減少全球約 8.4% 的光刻機供應，光刻機是製造半導體的關鍵設備，而該設備中大部分零件產自該廠，ASML 在全球光刻機供應的市場占比逾 8 成。