台積電說，公司致力成為全球永續標竿企業，持續應用創新技術驅動資源循環等綠色製造實績，全方位強化環保行動，實現與地球生態共好的理念，台中零廢製造中心為領先全球半導體業界的整合型能資源循環場域，也是台積電的首座循環經濟示範中心。
台積電指出，台中零廢製造中心設有氟化鈣污泥回收廠、氧化矽污泥回收廠、有機溶劑熱回收廠及異丙醇回收廠，共四大回收處理廠區，不僅確保廢棄資源不外流，所純化再生的化學品自 2023 年試運轉以來，已 100% 達再生產品允收標準。
立盈環保指出，新廠啟用後每月再利用園區內半導體產業事業廢棄物氟化鈣汙泥 1,500 噸，同時產製人造螢石超過 700 噸，供國內外各大鋼廠使用，將原本的廢棄物創造出最大的價值。
立盈環保補充，目前國內煉鋼廠仍從海外進口螢石，每噸價格約新台幣 1.2 萬元，但公司透過再生循環所產製的人造螢石每噸價格僅新台幣 4,000 元，可以大幅降低國內鋼鐵廠的成本，並協助其達成 ESG 廢棄物減量的目標，目前也銷售至海外市場，包括東南亞等地。
成信實業則是透過還原工程技術，將半導體 CMP 研磨材料回收及提純，成為功能性的陶瓷粉體材料，可以應用到研磨材料、塗料、建材、工業填充料等，月產能收受量達 800 噸，可再繼續擴充至 1,000 噸。
長春石化長期與台積電合作，將用於清洗製程的異丙醇回收再利用，從過往再生後供應給塗料業等產業使用，也透過加工程序，升級為再生異丙醇，等同可以再回到製程中，廢異丙醇的收受輛為每月 2,300 噸，可產出再生異丙醇為每月 300 噸。